掃描電子顯微鏡（SEM）是一種利用高能電子束掃描樣品表面，通過(guò)探測(cè)電子與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(hào)來(lái)成像的顯微設(shè)備。其核心優(yōu)勢(shì)是高分辨率(可達(dá)納米級(jí))、大景深、寬放大倍數(shù)范圍，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微電子、地質(zhì)礦物、刑偵鑒定等領(lǐng)域。
掃描電子顯微鏡的原理：
電子束產(chǎn)生與聚焦：電子槍發(fā)射高能電子，經(jīng)聚光鏡、物鏡逐級(jí)聚焦，形成直徑極細(xì)的 “電子探針”；
掃描與信號(hào)交互：電子探針在樣品表面按一定規(guī)律逐點(diǎn)、逐行掃描，與樣品原子發(fā)生碰撞，產(chǎn)生多種特征信號(hào)；
信號(hào)探測(cè)與成像：探測(cè)器收集這些信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，最終通過(guò)計(jì)算機(jī)處理成與掃描軌跡同步的圖像。
在選購(gòu)時(shí)應(yīng)注意以下幾點(diǎn)：
1、明確需求：
樣品類(lèi)型：生物樣品需低電壓模式以減少損傷；導(dǎo)電性差的樣品需噴金處理。
分析目標(biāo)：若需元素分析，需選擇配備EDS的型號(hào)；若需高分辨率，優(yōu)先場(chǎng)發(fā)射SEM。
2、關(guān)鍵參數(shù)對(duì)比：
分辨率：場(chǎng)發(fā)射SEM(1nm)優(yōu)于鎢燈絲SEM(3-10nm)。
加速電壓：0-30kV連續(xù)可調(diào)，低電壓模式適合觀察非導(dǎo)電樣品。
探測(cè)器類(lèi)型：背散射電子探測(cè)器(BSE)適合成分分析，二次電子探測(cè)器(SE)適合形貌觀察。
3、擴(kuò)展性：
能譜一體機(jī)：支持EDS分析，擴(kuò)展元素檢測(cè)功能。
環(huán)境SEM：可在潮濕或含油環(huán)境中觀察樣品，適應(yīng)特殊需求。
